产品特性
我国在半导体工业链中的许多中心技能和产品还依靠国外进口，其间在该工业起到要害作用的等离子体清洗设备，不只遭到国外独占，其大尺度设备更是对内地禁售。来自我国科学院合肥物质科学研讨院的海归博士后彭姣，看好内地清洗设备商场前景，带领研讨院多位博士组成科岛科林团队，自2021年开端对该设备进行国产化研制。现在，团队已完结4款等离子体清洗设备的研制，产品国产化率到达100%，在大尺度长寿数等离子体清洗设备方面，更首先完结了国内技能打破，打破了国外独占。
在坐落合肥市蜀山区的我国蜀山科里科气科创驿站─科学岛站，记者见到了彭姣及其团队成员。就在不久前，该团队刚刚完结了合伙公司的注册。关于从事物理研讨十余年的彭姣来说，兴办团队并创业，是她之前从未想过的事。而当团队自主研制的等离子体清洗设备在多个高校试验室及企业中成功试用，协助他们处理因国外设备独占带来的诸多困难时，彭姣知道到，将自己的技能转化成商场急需的产品，是多年科研堆集的很好挑选，亦是团队创业的最好机会。
彭姣第一次接触到等离子体，是在大学时期一位教师的试验室里，那台由等离子体辅佐制作薄膜堆积的设备，一会儿招引了她。读研讨生时，她报考了国内为数不多的专心等离子体范畴研讨的中科院合肥物质科学研讨院，主攻高温等离子体聚变方向，即“人工小太阳”托卡马克设备的研讨。
在一次对研讨资料外表的处理进程中，彭姣进一步了解到低温等离子体在清洁范畴的运用。“我对这个范畴很感兴趣，2016年在一次世界学术会议中，了解到德国一位导师有相关研讨课题时，我就自动请求去做研讨。”在德国，彭姣发现低温等离子体清洗设备现已运用到轿车、玻璃、资料等许多范畴，这些设备在全球都构成独占位置。为了进一步学习，她于2018年又第2次请求到德国，并取得了德国最大的科研机构亥姆霍兹联合会奖学金并从事相关博士后课题研讨。
由于科研试验室比较商业运用的高要求，即便是德国高端的等离子体清洗设备，许多时分也无法满意彭姣在试验室的需求。“例如现成设备只能处理平面的工件，对曲面以及特别资料的工件处理才能就不可。”彭姣开端测验对设备进行技能晋级，她经过讨教德国研讨所另一个专做光学资料研讨的同学，结合他们的研讨技能处理了这个问题。不只如此，她还经过研制，为设备进行了包含进步功率、改善电路结构等许多功用的改善。
彼时，彭姣关于等离子体清洗设备的改善研制首要出于完结试验课题的需求，她并不知道自己把握的技能对国内相关工业起到多大的作用。是她的同学、一起也是长时间在半导体范畴创业的博士黄英杰，在与她交流时告诉她等离子体清洗设备在国内的商场前景以及技能空白等状况，并期望约请她一起创业。
彭姣说，其实早在德国期间，她就切身感遭到各国对自己中心研制技能的维护。她曾帮同学联络购买一台德国的滤波片仪器，对方得知是我国的研讨所要买，不只报价从本来的几十欧元变为几千欧元，更表明这款仪器只能在德国运用，而她所知道的几位我国学生也遇到无法参与中心技能研讨课程等状况。
2021年头，彭姣回国，她深化了解了等离子体清洗设备在内地的商场前景。在半导体工业中，仅晶圆制作进程，清洗过程就占整个工序的30%以上。而国产设备还停留在拷贝国外产品的初级阶段，运用寿数短、清洗面积小、作用不稳定，现在内地半导体厂家首要从国外进口。“商场前景是很好的，所以终究我仍是挑选了创业。”她说。
她介绍，现在团队研制的设备功能能够到达德国同类设备80%至90%的水平，一起经过资料的研制也使得设备的寿数对标国外产品，到达两年以上。而在设备价格上，比较德国一台清洗设备30万元(人民币，下同)左右的价格，团队研制的同类设备仅约15万至20万元。
彭姣表明，团队成员对此次创业很有决心。现在团队现已霸占了大尺度直喷式、旋喷式等离子体清洗机在多通道放电、电极旋转带来的动平衡和动密封等多项难题。“下一步，咱们方案完结大于20cm的等离子体清洗设备处理尺度，满意商场对大尺度的火急需求。”
党的二十大陈述中说到加速施行立异驱动开展战略，特别是说到以国家战略需求为导向，集聚力气进行原创性引领性科技攻关，坚决打赢要害中心技能攻坚战等内容，作为科研人员的彭姣，备受鼓动。
尽管彭姣团队的成员全部是科研人员身世，可是关于这次创业，他们却有着很大的底气和决心。由于从资金、工作场所、公司架构设置、人事运营等各个方面，合肥市蜀山区都给予了“保姆式”的扶持与协助，处理了科研团队创业的后顾之虑。
现在团队地点的科里科气科创驿站科学岛站是一个孵化渠道，团队在这里能够免费取得工作场所。“工作地大约100 平方米，咱们能够免费运用3年，一起，工作人员也在帮咱们交流厂房问题，到时也会有政府补助。”此外，针对具有科研成果的创业团队，合肥市政府和蜀山区政府都有配套的创业基金支撑。彭姣团队现已取得合肥市200 万元的创业基金。“这笔创业基金基本处理了咱们初期的各项资金需求，本年团队还先后参与了安徽省、市、区的三个创业类大赛，都取得了不错的成果，竞赛奖金合计70多万元。”彭姣介绍说。
而扶持创业的相关部分针对团队后续开展规划的协助亦让团队收获颇丰。“尤其是公司架构方面，专业人士依据咱们团队的开展状况给出主张，例如怎么经过建立合伙公司和主体公司等方式，既确保了后续公司人员的扩张，又维护了原始创业团队的中心利益。”彭姣介绍，除此之外，当地政府相关部分还协助团队进行出售资源的嫁接。“合肥市要点开展的芯片、新式显现、集成电路等工业都是咱们的潜在客户，现在在政府的穿针引线下，团队现已与相关锂电池、存储器制作等企业建立了联络，企业已将咱们的样机拿回去试用，反应好的话，后续就能够直接进行国产化代替。”
