产品特性
沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所建议创立的国家高新技能企业，专门干半导体出产设备的研制、出产、销售与服务，致力于为客户供给半导体配备与工艺全体解决方案。
沈阳芯源公司作为国内抢先的高端半导体配备制作企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已构成完好的技能系统和丰厚的产品系列，可依照每个用户的工艺技能要求量身定做。产品习惯不一样工艺等级的客户真实的需求，大范围的应用于半导体出产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等范畴。可满意300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。芯源公司接连承当国家02科技严重专项《极大规划集成电路制作配备及成套工艺》项目，接连两年被评为我国半导体职业十强企业。
